スパッタエッチングによる微細突起物の
形成と機能性の利用

研究内容の説明(実用的な用途を含む)

 

以下のPDFの転載は,固くお断りします。

現在使用しているスパッタ装置


 スパッタエッチングに関する研究でこれまでに受けた研究費


  科学研究費:
               シーズ発掘試験研究費(JST): 平成21年度 
    平成17,18年度  萌芽研究       
    
平成19,20年度  基盤研究(C)    鉄鋼研究振興助成(日本鉄鋼協会):平成21,22年度 
    
平成21〜23年度 基盤研究(C)     
    平成24〜26年度 基盤研究(C)
    平成28〜     基盤研究(C)                                    

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