スパッタエッチングによる微細突起物の
形成と機能性の利用

研究内容の説明(実用的な用途を含む)

 

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現在使用しているスパッタ装置


スパッタエッチングに関する研究でこれまでに受けた研究費


 科学研究費:
            シーズ発掘試験研究費(JST): 平成21年度 
   平成17,18年度  萌芽研究       
   
平成19,20年度  基盤研究(C) 鉄鋼研究振興助成(日本鉄鋼協会):平成21,22年度 
   
平成21〜23年度 基盤研究(C)     
   平成24〜26年度 基盤研究(C)
   平成28〜30年度 基盤研究(C)
   令和2〜     基盤研究(C) (分担)                                    

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